L'interazione del fascio con il campione comporta anche la presenza di fenomeni di scattering elastico tra gli elettroni del fascio e i nuclei del campione determinando (1) singole deflessioni ad ampi angoli e (2) deflessioni multiple ad angoli ridotti. Entrambi i fenomeni determinano l'emissione di elettroni di backscattering. Come si puņ vedere dall'immagine, il volume di provenienza degli elettroni di backscattering (BEI) č molto maggiore di quello tipico dei secondari (SEI).
Schema di rivelatore di elettroni di backscattering
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